Sistemul este proiectat pentru a fi utilizat impreuna cu incinte de vid cu un volum total mai mic de 100L. Acesta este compus din 3 trepte de pompare, astfel: 1. prepompa tip diafragma care actioneaza pana la presiuni de 1mbar, 2. pompa turbomoleculara, 3. pompa ionica-trioda pentru operarea la presiuni mai mici de 1e-5mbari. Dupa atingerea presiunii de lucru a pompei ionice, treptele 1 si 2 sunt deconectate pentru a asigura pomparea fara introducerea de vibratii in sistem. Sistemul de pompare este compatibil cu incintele de vid cu porturi DN100CF-F. Pretul include instalarea la sediul clientului, cat si instruirea personalului pentru operare